近年來，全球永續發展意識不斷高漲，市場價值已由財務考量的單一層面轉變為整合經濟、環境與社會面向的三重盈餘績效（Triple Bottom Line, TBL）。傳統平衡計分卡（Balanced Scorecard, BSC）被企業視為強化經營績效的關鍵工具，然而卻缺乏考量環境與社會層面，致使其無法作為企業永續績效的決策工具。有鑑於此，本研究首先透過文獻探討，將經濟、環境與社會面議題整合，初步設計永續性、內部流程、利害關係人，與學習成長等4大構面，以及40項量度的『永續性平衡計分卡（Sustainability BSC, SBSC）』架構，接著以半導體業為研究對象，藉由模糊德爾菲法（Fuzzy Delphi Method, FDM）篩選出適用於該產業之25項量度。最後，本研究考量各量度之間相依與回饋的關係，以分析網路程序法（Analytic Network Process, ANP）來求得各量度之優先權重。結果顯示，前3個最重要的量度分別是：「獲利能力」（0.2528）、「綠色創新或技術投資」（0.1563）、「企業綠色形象」（0.1546），且皆為永續性構面之量度，佔總權重的56%之多，更突顯三重盈餘績效的重要性。期望透過此永續決策工具的建置，協助企業衡量組織永續績效的良窳，使決策者得以研擬永續管理策略，提升企業永續競爭優勢。